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1、臭氧濃度:10~1000±10pphm 2、臭氧濃度偏差:≤10% 3、溫度范圍:RT+10℃~+80℃ 4、溫度波動度:±0.5℃ 5、溫度均勻度:±2℃ 6、相對濕度:50~90% 7、氣流流速:8mm/s~20mm/s,在范圍內可調
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